默克推出用于芯片制造的新一代环保光刻胶去除剂

德国达姆施塔特, 2021年7月 28日 –- 全球领先的科技公司默克日前宣布推出新一代环保精密清洗溶剂产品 --AZ^®910去除剂。该系列产品用于半导体芯片制造图形化工艺中清除光刻胶。

光刻胶去除是半导体芯片制造图形化环节中的关键技术，而光刻胶去除剂则是决定图形化最终良率及可靠性的关键材料之一。默克此次推出的“AZ^®910去除剂”基于不含有NMP(N-甲基吡咯烷酮)的新型特制化学配方，不仅可以快速溶解残留光刻胶，同时具备超高的经济性、出色的环保性和广泛的适用性。

该创新产品可直接溶解负性和正性光刻胶，而并非像传统NMP清洗剂那样只能将其从晶圆表面剥离。清洗工艺能因此能缩短近一半时间，同时延长相关材料和过滤设备的使用寿命，从而帮助芯片厂商降低总体成本。

默克半导体材料事业部全球负责人Anand Nambiar表示：“这是一种同时具备了环保性和经济性的创新解决方案，将更好地满足下一代半导体制造工艺中精密清洗需求。这款AZ^®910去除剂能够以不到三倍的溶剂用量清除光刻胶，在为晶圆厂节省成本的同时也减少了废料对环境的影响。”

高纯度去除剂在芯片制造过程正发挥着十分重要的作用。每当各种材料被转移到硅片上后，都需要将硅片表面不需要的残留物精密清除。随着芯片制造工艺不断微型化，整个行业对更高性能且绿色环保去除剂的需求也在与日俱增。默克是全球半导体去除剂市场的重要成员之一，其研发的溶剂产品涵盖了半导体光刻工艺的所有步骤。此外，凭借在电子材料领域100多年的专业经验，默克目前为中国大陆100多家芯片制造企业供应着超过150余种材料产品，覆盖其晶圆加工的每一个环节。

关于默克

默克是一家领先的科技公司，专注于医药健康、生命科学和电子科技三大领域。全球有57,000多名员工服务于默克，通过创造更加愉悦和可持续性的生活方式，为数百万人的生活带来积极的影响。从先进的基因编辑技术和发现治疗最具挑战性疾病的独特方法，到实现设备的智能化——默克无处不在。2020年，默克在66多个国家的总销售额达175亿欧元。

科学探索和负责任的企业精神一直是默克科技进步的关键，也是默克自1668年以来永葆活力的秘诀。默克家族作为公司的创始者至今仍持有默克大部分的股份，我们在全球都叫“默克”，仅美国和加拿大例外。默克的三大领域：医药健康、生命科学及电子科技在这两个国家分别称之为“EMD Serono”、“MilliporeSigma”和“EMD Electronics”。默克在中国已经有80多年发展历史，目前有超过4,200名员工，并在北京、上海、香港、无锡、苏州和南通拥有20多个注册公司。